晶瑞電材(cái)：已啓動ArF（193）高端(duān)光刻膠研發(fā)，KrF光刻膠完成(cheng)中試🏃🏻‍♂️

　　12月13日，晶(jīng)瑞電材在特(te)定對象調研(yán)活動中表示(shì)，目前ArF(193)高端光(guāng)刻膠🏒研發工(gong)作已正式啓(qi)動，已完成光(guāng)刻機、勻膠顯(xian)影機、掃描電(diàn)鏡、台✔️階儀等(děng)設備購置，其(qí)中ASML1900Gi型光刻機(jī)設備正在積(jī)極調試中。同(tong)時公司正在(zai)積極開展對(dui)上遊材料樹(shu)脂單體及✌️配(pei)方的研究。

 

　　公(gong)司高端KrF(248)光刻(ke)膠已完成中(zhōng)試，建成了中(zhōng)試示範線，已(yi)進入客戶🌏測(cè)試階段。近期(qi)已購得KrF光刻(ke)機一台，可🆚用(yòng)于KrF光刻膠的(de)曝光測試，同(tong)時公司KrF光刻(ke)膠量産化生(shēng)産線正在積(jī)極建設中。

 

　　據(ju)晶瑞電材表(biao)示，此前，公司(si)已經購得用(yong)于負膠、g 線、i線(xiàn)、ArF 等 4 台光刻機(jī)，再加之此次(ci)購得的KrF光刻(ke)機，公司已經(jing)到位5台🏃🏻光刻(ke)機。

 

來源：晶瑞(ruì)電材官網

 

　　此(ci)外據晶瑞電(dian)材透露，晶瑞(rui)(湖北)微電子(zi)材料項目一(yi)期目前正📞在(zài)設備安裝調(diào)試階段。

 

　　據悉(xi)，2025年12月，晶瑞電(diàn)材(原晶瑞股(gu)份)發布公告(gào)稱，拟在湖北(běi)📱省潛🏒江市投(tóu)資建設晶瑞(ruì)(湖北)微電子(zǐ)材料項目，生(shēng)産光♻️刻膠及(jí)其相關配套(tao)的功能性材(cai)料、電子級雙(shuang)氧水、電子級(ji)氨水等半導(dao)體及面🌐闆顯(xian)示用電🌏子材(cái)料等，項目計(jì)劃總投資約(yuē)爲人民币15.2億(yì)元。

 

　　晶瑞電材(cái)在該調研活(huó)動中還表示(shì)，受益于我國(guó)半導體材料(liao)行業國産替(ti)代進程提速(su)，下遊芯片廠(chang)商🔴需求增長(zhǎng)🏃‍♀️，當前公司主(zhu)導産品半導(dǎo)體級光刻膠(jiao)及配套材料(liao)、超淨高純試(shì)🙇🏻劑、锂電🔴池材(cai)料等産銷兩(liǎng)旺。

 

　　未來随着(zhe)公司 KrF 光刻膠(jiāo)測試完成并(bing)逐步量産、ArF 光(guāng)刻膠研發成(cheng)功❤️并最終量(liàng)産，以及公司(si)南通、陝西、四(si)川等基地新(xīn)增的高純硫(liú)酸、NMP、光刻膠等(deng)産品産能的(de)逐步釋放，有(yǒu)望成爲公司(sī)新的利潤增(zēng)長點。