光刻膠 | 半導體高壁壘核心材料_深圳市同泰化學技術有限公司 電鍍中間體/水性樹脂與助劑/特種水性油墨/水性納米二氧化矽/工業清洗/半導體化學品

光刻膠 | 半(bàn)導體高壁壘(lěi)核心材料

2025-12-13 13:00

導(dao)言:光刻膠目(mù)前廣泛用于(yú)光電信息産(chǎn)業的微細圖(tú)形線🧑🏾‍🤝‍🧑🏼路加工(gong)制作,光刻工(gong)藝的成本約(yuē)占整個芯片(pian)制造工藝的(de)35%,耗時占整個(ge)芯片工藝的(de)40%到60%,是半導體(tǐ)制造中的核(he)心工藝。光刻(kè)膠‼️材料約占(zhan)芯片制造材(cái)料總成本的(de)4%,是半導體集(jí)成電路制造(zào)的核心材🌈料(liào)。

 

中國光刻膠(jiāo)市場增速高(gāo)于國際水平(píng),據前瞻産業(ye)研究院數👈據(ju),2019年我國光刻(kè)膠本土供應(ying)量約70億元,自(zi)2010年起複合增(zeng)速達11%,遠高于(yu)全球增速,但(dàn)本土供應量(liàng)在全球占比(bǐ)僅10%左右,且以(yǐ)已經實現國(guó)産替代的主(zhǔ)要是中低端(duān)PCB光刻膠,LCD和半(bàn)導體領域的(de)光👌刻膠自給(gei)率極低。

 

光刻(ke)膠是圖形轉(zhuan)移介質,其利(lì)用光照反應(ying)後溶解度不(bu)🏃‍♀️同将掩膜版(bǎn)圖形轉移至(zhi)襯底上,主要(yao)由感光劑(光(guang)引發劑)、聚🔆合(hé)劑(感光🔴樹脂(zhī))、溶劑與助劑(jì)構成。

 

光刻膠(jiao)原材料主要(yao)爲樹脂、溶劑(ji)和其他添加(jiā)劑。其中溶劑(ji)⁉️質量占比最(zui)大,一般在80%以(yi)上。其他添加(jia)劑質量占比(bi)雖不足5%,卻是(shi)決定光刻膠(jiāo)特有性質的(de)關鍵材料,包(bāo)括光敏劑、表(biao)面🌂活性劑等(deng)材料。

 

在光刻(kè)工藝中,光刻(ke)膠被均勻塗(tu)布在矽片、玻(bō)璃和金屬㊙️等(děng)不同🌈的襯底(dǐ)上,經曝光、顯(xian)影和蝕刻等(děng)工序将掩🌐膜(mo)版上的圖形(xing)轉移到薄膜(mo)上,形成與掩(yan)膜版完全對(duì)應的幾何圖(tu)形。

 

光刻膠可(ke)根據其下遊(yóu)應用領域分(fèn)爲半導體光(guāng)刻膠、面闆光(guang)刻膠和PCB光刻(kè)膠三類。

 

半導(dao)體光刻膠

目(mù)前,KrF/ArF仍是主流(liu)的加工材料(liao)。光刻技術随(suí)着集成電路(lù)的發展經曆(li)了從G線(436nm)光刻(ke),H線(405nm)光刻,I線(365nm)光(guāng)刻,到深紫外(wai)線DUV光刻(KrF248nm和ArF193nm)、193nm浸(jìn)沒式加多重(zhòng)成像技術(32nm-7nm),在(zai)到極端紫外(wai)線(EUV,<13.5nm)光🔴刻的發(fa)展,甚至采用(yong)非光學光💞刻(ke)(電子束曝光(guang)、離子束曝光(guāng)),以相應波長(zhǎng)爲感光波長(zhang)的各類光刻(kè)膠也應用而(ér)生。

光刻膠市(shì)場行業集中(zhōng)度高。日本企(qǐ)業在半導體(tǐ)光刻膠領域(yu)占🐕據絕對優(you)勢。半導體光(guang)刻膠主要生(sheng)産企業包括(kuò)日本🔞東京🤩應(yīng)化、JSR、住友化學(xue)、信越化學;韓(han)國東進世美(měi)肯;美國陶氏(shi)杜邦,其中日(rì)本企業占據(jù)約70%市場份額(e)。分産品看,東(dong)京應化在g線(xian)/i線和Krf光刻膠(jiāo)領🔞域居龍頭(tóu)地🌈位,市場份(fèn)額分别達到(dào)27.5%和32.7%。JSR在Arf光刻膠(jiao)領🌈域市占率(lǜ)最高,爲25.6%。

根據(ju)富士經濟預(yù)測,2023年全球ArF、KrF膠(jiao)産能有望達(dá)到1870、3650噸,市場規(gui)模近49、28億元。日(ri)本光刻膠龍(long)頭JSR、TOK包括光刻(kè)膠在内的業(ye)💚務毛利率約(yue)40%,其中光刻膠(jiao)原料成本約(yuē)占90%。

國内半導(dao)體用光刻膠(jiao)生産企業包(bāo)括上海新陽(yáng)、南大🌈光電、晶(jing)瑞股份、北京(jīng)科華、恒坤股(gu)份。目前隻有(you)北京科華、晶(jīng)瑞股份具🏃備(bei)量産KrF光刻膠(jiao)能力,北京科(ke)華産品已🙇🏻爲(wèi)中芯🔅國際供(gong)貨。上海🔅新陽(yáng)在🌂建的19000噸/年(nian)ArF(幹法)光刻膠(jiāo)項目預計2022年(nian)達産。

面闆光(guāng)刻膠

光刻膠(jiao)是LCD面闆制造(zào)的關鍵材料(liao),根據使用對(dui)象的不同,又(yòu)🌈可分爲RGB膠、BM膠(jiāo)、OC膠、PS膠、TFT膠等。

面(miàn)闆光刻膠主(zhu)要包括TFT配線(xiàn)用光刻膠、LCD/TP襯(chen)墊料光刻膠(jiao)、彩色光刻膠(jiao)及黑色光刻(ke)膠四大類别(bie)。其中TFT配線用(yong)光💛刻膠用于(yu)對ITO布🔞線,LCD/TP沉澱(dian)料光刻膠用(yòng)于使LCD兩個玻(bō)璃基闆間的(de)液晶材料厚(hòu)度保持恒定(dìng)。彩色光刻膠(jiao)及黑色光刻(ke)膠可賦予彩(cai)色濾光片顯(xiǎn)色功能。

面闆(pan)光刻膠市場(chǎng)需要構成穩(wěn)定,彩色光刻(ke)膠需求量✍️領(ling)💛先,預計2022年全(quan)球銷售量将(jiang)達22900噸,銷售額(e)将達8.77億美元(yuan)。

TFT面闆用光刻(kè)膠、LCD/TP襯墊料光(guāng)刻膠、黑色光(guang)刻膠銷售額(é)🏒2022年預計⭕分别(bié)⚽達到3.21億美元(yuan)、2.51億美元、1.99億美(měi)元。

 

PCB用(yong)光刻膠

PCB光刻(ke)膠可根據塗(tú)布方式分爲(wei)UV固化油墨和(he)UV噴塗油墨。目(mù)⭐前國内PCB油墨(mò)供應商已逐(zhú)步實現國産(chǎn)替代,容大感(gan)光、廣🙇‍♀️信材料(liào)等企業已掌(zhǎng)握PCB油墨關鍵(jiàn)技術。

國内對(dui)TFT光刻膠和半(ban)導體光刻膠(jiao)仍在起步探(tàn)索階段。晶瑞(ruì)股份、雅克科(kē)技、永太科技(ji)、容大感光、欣(xīn)奕華、中電彩(cǎi)虹🈚、飛凱材料(liào)在TFT光刻膠領(ling)域均有布局(jú),其中💋飛凱材(cai)料、北旭電子(zǐ)規劃産能高(gao)達5000噸/年,雅克(ke)科技通過收(shou)購LG化學下屬(shǔ)彩色光刻膠(jiao)事業部切入(ru)此市場,在渠(qu)道和技術方(fāng)面具備優勢(shì)。

光刻膠等技(ji)術壁壘極高(gao)的行業,實現(xiàn)技術層面的(de)突破是基礎(chu)、其次,需不斷(duan)改進工藝,滿(mǎn)足半導體行(hang)業快💔速發展(zhǎn)的⛹🏻‍♀️需要。

由于(yu)光刻膠等行(hang)業認證時間(jian)較長,客戶不(bu)會輕易更換(huan)供🔞應商✏️,因此(ci)進入主流供(gong)應鏈是極其(qi)必要的。國内(nei)光刻膠生❌産(chǎn)商👉未來有望(wang)把握中國半(bàn)導體行業進(jin)口替代契機(ji),實現快速發(fa)展。

◆ 資料來源(yuán):電子材料圈(quān)

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