新(xīn)材料科(ke)技與化(huà)學技術(shù)創新
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光刻(ke)膠 | 半導(dǎo)體高壁(bì)壘核心(xīn)材料
導(dao)言:光刻(ke)膠目前(qián)廣泛用(yòng)于光電(dian)信息産(chǎn)業的微(wēi)細圖形(xing)線路加(jia)工制作(zuò),光刻工(gong)藝的成(cheng)本約占(zhàn)整個芯(xīn)片制💯造(zao)工藝的(de)35%,耗時占(zhan)整🌈個芯(xin)片工藝(yi)的40%到60%,是(shi)半導體(tǐ)制造中(zhong)的核心(xīn)工藝。光(guāng)刻膠材(cai)料約占(zhan)芯片制(zhi)造材料(liao)總成本(běn)的4%,是半(ban)導體集(jí)成電路(lù)制造的(de)核心材(cái)料。 中國(guó)光刻膠(jiao)市場增(zeng)速高于(yu)國際水(shui)平,據前(qián)瞻産業(ye)研究院(yuàn)數據,2019年(nian)我國光(guang)刻膠本(ben)土供應(ying)量約70億(yì)元,自2010年(nian)起複🏒合(hé)增速達(da)11%,遠高于(yú)全球增(zēng)速,但本(ben)土供應(yīng)量在全(quan)球占比(bǐ)僅10%左右(you),且以已(yi)經實現(xian)國産替(tì)代的主(zhu)要是中(zhong)低端PCB光(guang)刻膠💞,LCD和(he)半導體(ti)領域的(de)光刻膠(jiāo)自給率(lǜ)極低。 光(guang)刻膠是(shi)圖形👄轉(zhuan)移介質(zhi),其利🏃♂️用(yòng)光照反(fan)應後溶(rong)解度✂️不(bú)同将掩(yan)膜版🚶♀️圖(tú)形轉移(yi)至襯底(di)上,主要(yào)由感光(guang)劑(光引(yǐn)發劑)、聚(ju)合劑(感(gan)光樹脂(zhī))、溶劑與(yǔ)助劑構(gou)成。 光刻(ke)膠原材(cái)料主要(yao)爲樹脂(zhi)、溶劑和(hé)其他添(tiān)加劑。其(qi)中溶劑(jì)📧質量占(zhan)比最大(da),一般在(zài)80%以上。其(qi)他⛹🏻♀️添加(jiā)劑質量(liàng)占比雖(sui)不足5%,卻(que)是決定(ding)光刻膠(jiao)特有性(xìng)質的關(guan)💃鍵材料(liào),包括光(guāng)敏劑、表(biao)面活性(xìng)劑等🌈材(cái)料。 在光(guāng)刻工藝(yì)中,光刻(kè)膠被均(jun1)勻塗布(bù)在矽片(piàn)、玻璃💋和(hé)金屬等(deng)不同的(de)襯底上(shang),經曝光(guang)、顯影和(he)蝕刻等(děng)工序将(jiang)掩膜版(ban)上的圖(tú)形轉移(yí)到薄膜(mó)上,形成(cheng)與掩膜(mo)版完全(quán)對應的(de)幾何圖(tu)形。 光刻(ke)膠可根(gen)據其下(xià)遊應用(yòng)領域分(fen)爲半導(dǎo)體光刻(ke)膠、面闆(pǎn)光刻膠(jiāo)和PCB光刻(ke)膠三類(lei)。 半👈導體(tǐ)光刻膠(jiao) 目前,KrF/ArF仍(reng)是主流(liú)的加工(gōng)材料🍓。光(guāng)刻技術(shù)随着集(ji)成電路(lù)的發展(zhan)經曆了(le)從G線(436nm)光(guang)🌈刻,H線(405nm)光(guāng)刻,I線(365nm)光(guang)刻,到💋深(shēn)紫外線(xian)DUV光刻(KrF248nm和(hé)ArF193nm)、193nm浸沒式(shi)加多重(zhong)成像技(ji)術⭐(32nm-7nm),在到(dào)極端紫(zǐ)外線(EUV,<13.5nm)光(guāng)刻的發(fā)展,甚至(zhi)采用非(fēi)光學光(guang)刻(電子(zǐ)束曝光(guāng)、離子束(shù)曝光),以(yi)相應波(bo)長爲感(gǎn)光波長(zhang)的各類(lei)光刻膠(jiāo)也應用(yong)而生✊。 光(guāng)刻膠市(shì)場行業(yè)集中度(dù)高。日本(ben)企業在(zai)半導體(ti)光刻膠(jiāo)領🌂域占(zhan)據絕對(duì)優勢。半(bàn)導體光(guang)刻膠主(zhu)要生産(chǎn)企業👅包(bao)括日本(běn)東京☀️應(ying)化、JSR、住友(you)化學、信(xin)越化學(xué);韓國東(dong)進世美(měi)🎯肯;美國(guo)陶氏杜(du)邦,其中(zhong)日本企(qǐ)業占據(ju)約70%市場(chǎng)份額。分(fèn)産品看(kàn),東京應(yīng)化在g線(xiàn)/i線和🔞Krf光(guāng)刻膠領(lǐng)域居龍(lóng)頭地位(wèi),市場🏒份(fèn)額分别(bie)達到27.5%和(hé)32.7%。JSR在Arf光刻(ke)膠領域(yù)市占率(lü)最高,爲(wei)25.6%。 根據富(fu)士經濟(jì)預測,2023年(nián)全球ArF、KrF膠(jiao)産能🈚有(yǒu)望達❗到(dào)1870、3650噸,市場(chang)規模近(jìn)49、28億元。日(rì)本光刻(kè)膠龍頭(tou)JSR、TOK包括光(guāng)刻膠在(zài)内的業(ye)務毛利(li)率約40%,其(qi)中光刻(kè)膠原料(liào)成本約(yuē)占90%。 國内(nei)半導體(tǐ)用光刻(kè)膠生産(chan)企業包(bāo)括上海(hai)新陽、南(nán)大光電(diàn)、晶瑞股(gu)份、北京(jing)科華、恒(heng)坤股份(fen)。目前隻(zhī)有北京(jīng)科華、晶(jīng)瑞股份(fen)具備量(liàng)産KrF光刻(ke)膠能力(li),北京科(ke)華産品(pin)已爲中(zhong)芯國際(ji)供貨。上(shàng)海新陽(yáng)在建的(de)19000噸/年🆚ArF(幹(gàn)法)光刻(ke)膠項目(mu)預計2022年(nián)達産。 面(miàn)闆光刻(ke)膠 光刻(kè)膠📧是LCD面(miàn)闆制🌂造(zao)的關鍵(jian)材料,根(gen)據使用(yòng)對象的(de)不同,又(you)可分🚶爲(wèi)RGB膠、BM膠🛀🏻、OC膠(jiao)、PS膠、TFT膠等(deng)。 面闆光(guang)刻膠主(zhǔ)要包括(kuo)💜TFT配線用(yòng)光刻膠(jiao)、LCD/TP襯墊料(liao)光刻膠(jiao)、彩色🔞光(guang)刻膠及(ji)黑色光(guang)刻膠四(sì)大類😘别(bie)。其中TFT配(pèi)線用光(guāng)刻膠用(yòng)于對ITO布(bu)線,LCD/TP沉澱(dian)料光刻(ke)膠👅用于(yú)使LCD兩個(gè)玻璃基(jī)闆間的(de)液晶材(cái)料厚度(dù)保持恒(héng)定。彩色(sè)光刻☀️膠(jiao)及黑色(se)光刻膠(jiao)可賦予(yu)彩色濾(lǜ)光片顯(xian)色功能(néng)。 面闆🈲光(guang)刻膠市(shì)場需要(yao)構成♻️穩(wen)定,彩色(se)光⛱️刻膠(jiāo)需求量(liàng)領先,預(yu)計💰2022年全(quán)球銷售(shòu)量将達(da)22900噸,銷售(shou)額将達(da)8.77億美元(yuan)。 TFT面闆用(yòng)光刻膠(jiao)、LCD/TP襯墊料(liao)光刻膠(jiao)、黑色光(guāng)刻膠銷(xiao)售額2022年(nian)預計分(fen)别達✉️到(dào)3.21億😄美元(yuan)、2.51億美元(yuan)、1.99億美元(yuán)。 根據智(zhi)研咨詢(xún)測算,2020年(nián)全球面(mian)闆光刻(ke)膠💛市場(chǎng)規模将(jiāng)達到167億(yì)人民币(bi),增速維(wei)持在4%左(zuǒ)右。根據(jù)我們的(de)測算,到(dao)2025年光刻(ke)膠市場(chǎng)規模👌将(jiang)達到203億(yì)人民币(bì)。其中,伴(ban)随LCD産🐉業(yè)中心的(de)轉移,我(wǒ)國LCD光✂️刻(kè)膠市場(chang)規模及(ji)😍國産💞化(hua)率有望(wang)逐㊙️步提(tí)升。 PCB用光(guang)刻膠 PCB光(guang)刻膠可(ke)根據塗(tu)布方式(shì)分爲UV固(gu)化油墨(mo)和UV噴塗(tu)油墨。目(mù)前國内(nèi)PCB油墨供(gòng)應商已(yǐ)逐步實(shí)現國産(chǎn)替代,容(rong)大❌感⛹🏻♀️光(guāng)、廣信材(cai)料等企(qi)業已掌(zhang)握PCB油墨(mò)關鍵技(ji)術。 國内(nei)對TFT光刻(kè)膠和🐪半(bàn)導體光(guāng)刻膠仍(réng)在起步(bù)探索階(jiē)段。晶瑞(rui)股份、雅(ya)克科技(ji)、永太科(ke)技、容大(da)感光、欣(xīn)奕華、中(zhōng)電彩虹(hóng)、飛凱材(cái)🆚料在TFT光(guang)刻膠領(ling)域均有(you)布❤️局,其(qí)中飛凱(kǎi)材料、北(bei)旭電💔子(zǐ)規劃産(chǎn)能👄高達(dá)5000噸/年,雅(ya)克科技(jì)通過收(shōu)購LG化學(xue)下屬🐇彩(cǎi)色光刻(ke)膠事業(ye)部切入(ru)此市場(chǎng),在渠道(dao)和技術(shù)方面具(jù)備優勢(shi)。 光刻膠(jiao)等技術(shù)壁壘極(jí)高的行(háng)業,實現(xian)技術層(ceng)面的突(tu)破是基(jī)礎、其次(ci),需不斷(duan)改進工(gong)藝,滿足(zú)🈲半導🌈體(ti)行業快(kuai)速發❌展(zhǎn)的需要(yào)。 由于光(guāng)刻膠等(děng)行業認(ren)證時🌈間(jiān)較長,客(ke)戶不會(hui)輕易更(gèng)換供應(yīng)商,因此(ci)進入主(zhu)流供應(yīng)鏈是極(ji)其必🙇🏻要(yào)的。國内(nèi)光刻膠(jiāo)生産商(shang)未來有(you)望把🔴握(wo)中國半(bàn)導體行(hang)業進口(kou)替代契(qi)🔆機,實現(xiàn)快速發(fā)展。 ◆ 資料(liao)來源:電(dian)子材料(liào)圈 ◆ 免責(zé)聲明㊙️:所(suǒ)載内容(rong)來源于(yú)互聯網(wǎng),微信公(gōng)衆号等(deng)公開渠(qu)道,我們(men)對文中(zhōng)觀點持(chí)中立态(tài)度,本文(wén)僅供參(cān)考、交流(liú)。轉載的(de)稿件版(bǎn)權歸原(yuan)作者和(he)機構所(suǒ)有。
發布(bu)時間:
2025-12-13
什麽(me)是酸銅(tóng)中間體(tǐ)
酸銅中(zhong)間體是(shi)可在酸(suān)性鍍銅(tóng)光亮劑(jì)中提供(gong)流平,定(ding)位💚和分(fèn)散性能(néng)的材料(liao)的總稱(cheng)。它主要(yao)包括酸(suān)性銅染(ran)料,表🏃♂️面(miàn)活性劑(jì),濕潤劑(jì),防霧劑(jì)等,并且(qiě)在電路(lu)闆電鍍(dù)和硬件(jian)電鍍中(zhōng)具有廣(guang)泛的用(yong)途。電路(lu)闆的酸(suān)性銅鍍(du)層中通(tong)常使用(yòng)的是通(tong)孔銅鍍(du)層,盲孔(kong)鍍❗銅層(ceng),緞面銅(tóng)等。所用(yòng)的酸銅(tóng)中間體(ti)主要包(bao)括DEB-45,DEB-MP5,COMP3805,SPS等材(cái)料。
五金(jin)酸銅中(zhong)間體AP-3表(biao)面活性(xìng)劑脂肪(fang)醇聚氧(yǎng)乙烯聚(ju)氧丙烯(xi)醚👈
AP-3是脂(zhi)肪醇聚(ju)氧乙烯(xi)聚氧丙(bing)烯醚(100%有(you)效成分(fèn)),屬于非(fei)離子表(biao)面活性(xing)劑,作爲(wei)現時電(dian)鍍酸銅(tong)添加劑(ji)中較優(yōu)秀的一(yi)款酸銅(tóng)中⭐間體(ti)❓,可作爲(wei)德系五(wu)金酸銅(tóng)主潤濕(shī)及整平(píng)加強劑(jì)、主走位(wei)劑。
二氧(yǎng)化矽膠(jiāo)體微粒(lì)的溶液(yè)“矽溶膠(jiao)”能幹啥(shá)?
Silica Sol矽溶膠(jiao)是二氧(yang)化矽膠(jiao)體微粒(lì)在水中(zhōng)均勻分(fèn)散形成(cheng)的膠體(tǐ)溶液,具(ju)有許多(duō)優良性(xing)質和特(te)點,作爲(wei)一種精(jing)細化🔴工(gong)産品,現(xian)已被😍廣(guǎng)泛應用(yong)于化工(gōng)、材料、紡(fǎng)🏒織、造紙(zhi)、電子等(deng)工業領(ling)域。早在(zài)1915年,Schwerin首次(cì)以水玻(bo)璃爲原(yuán)料,采用(yong)電滲析(xi)法制備(bei)出含二(èr)氧化矽(xi)質量分(fen)數㊙️2.4%的矽(xī)溶膠,隻(zhī)是濃度(du)太低,并(bìng)沒有什(shí)麽實際(jì)應用意(yì)🔱義,1941年Bird利(li)用離子(zǐ)交換法(fa)制得高(gao)濃度的(de)矽溶膠(jiao)後,才得(dé)以大規(guī)模的生(sheng)産和應(ying)用。
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中國(guo)中化:兩(liǎng)化重組(zǔ)正式落(luo)子雄安(an)!
中國中(zhong)化是由(yóu)中國中(zhōng)化集團(tuan)有限公(gong)司與中(zhong)國化工(gong)集團有(you)限公司(si)聯合重(zhong)組而成(chéng),爲國務(wu)院國資(zī)委監管(guǎn)🛀的國有(you)重😍要骨(gu)幹企業(ye),員工22萬(wan)人。
上海(hai)新陽:與(yǔ)Heraeus簽訂《合(hé)作備忘(wàng)錄》,推進(jìn)半導體(ti)光刻膠(jiāo)發展
近(jìn)日,上海(hǎi)新陽半(bàn)導體材(cai)料股份(fen)有限公(gong)司發布(bu)了關于(yú)♊簽訂《合(hé)作備忘(wàng)錄》的公(gong)告,公告(gao)顯示上(shàng)海新陽(yang)與 HeraeusDeutschland GmbH & Co. KG(以🚩下(xia)簡稱“Heraeus”)簽(qiān)🈲署的🐪《合(hé)作備忘(wang)錄》系雙(shuang)方就建(jian)立合🏒作(zuo)關系而(ér)簽署的(de)框架協(xié)議,爲解(jie)決中國(guó)半導體(tǐ)供應鏈(liàn)面臨㊙️的(de)新挑戰(zhan)❗,推進半(ban)導體光(guang)刻膠的(de)發展,雙(shuāng)方将深(shen)度合作(zuò),共同努(nu)力優化(hua)創新的(de)光刻膠(jiao)解決🌂方(fang)案。 圖片(piàn)來源:上(shàng)海新陽(yáng) 公告稱(chēng)上海新(xīn)陽作爲(wei)國内集(jí)成電路(lù)制造關(guan)鍵工藝(yì)材料供(gòng)應商,自(zì)立項進(jìn)行光刻(kè)膠項目(mù)研發🐆以(yǐ)來,将突(tu)破集成(chéng)電路高(gāo)端光刻(kè)膠國外(wài)壟斷,實(shi)現集成(cheng)電路✊高(gao)端光刻(kè)膠材料(liao)的國産(chǎn)化作爲(wèi)發展☔目(mu)标,在ArF幹(gan)法、KrF厚膜(mó)及I線🤩光(guang)刻膠方(fāng)🆚面已有(you)技術與(yu)産品的(de)突破,部(bu)分産品(pǐn)已經拿(ná)到訂單(dan)。 上海新(xīn)陽表示(shi),公司與(yǔ)Heraeus簽署本(ben)㊙️協議,旨(zhǐ)在完善(shan)光刻膠(jiāo)供應鏈(lian),爲光刻(kè)膠項目(mu)的開展(zhan)提供材(cái)料和技(jì)🙇♀️術保障(zhang),對加快(kuai)公司集(ji)成電路(lù)制造❓用(yòng)光刻膠(jiao)産品研(yan)發項目(mù)進度有(you)積極影(yǐng)響,有利(li)于加速(su)落實公(gong)司🌈發展(zhan)戰略,提(ti)高公司(si)可持續(xù)發展能(neng)力。 據上(shàng)海新陽(yang)2021年第三(sān)季度報(bao)告顯示(shi),今年前(qián)三季度(du)公司實(shi)現營🏒業(ye)收入實(shí)現營業(yè)收入71,195.83萬(wan)元,較上(shang)年同比(bi)增長46.31%;實(shi)現歸屬(shǔ)于上🌍市(shi)公司股(gu)東的淨(jing)利潤8492.42萬(wàn)元,較上(shàng)年同比(bi)下降51.99%。 在(zài)先前的(de)三季度(dù)業績預(yu)告中🈲,上(shàng)海新陽(yáng)表示: 年(nián)初至報(bao)告🐇期末(mò),公司營(yíng)業收入(rù)繼續保(bǎo)持大幅(fú)增🌏長🛀,半(ban)導體和(he)塗料業(yè)務銷售(shou)收入均(jun)實現了(le)50%左右的(de)👣增長; 由(yóu)于公司(sī)開展光(guang)刻膠項(xiàng)目和參(cān)與國家(jia)重大🔅科(kē)技項目(mù),研發投(tou)入持續(xu)加大,研(yán)發費用(yong)增加明(míng)顯。 今年(nián)6月末,上(shàng)海新陽(yáng)發布公(gōng)告稱,公(gong)司自主(zhu)研發的(de)KrF(248nm)厚膜光(guang)刻膠🏃🏻♂️産(chan)品近日(rì)已通過(guo)客戶認(ren)證,并成(chéng)功取得(dé)第一筆(bǐ)訂單。公(gong)告稱,上(shang)㊙️海新🛀🏻陽(yang)開發的(de)365nm I線、248nm KrF、193nm ArF幹法(fǎ)及濕法(fǎ)光刻膠(jiāo)可适應(yīng)國内0.35-0.11微(wei)米、90-28nm芯片(pian)工藝技(ji)術節點(dian)的需求(qiú)。 12月13日,上(shàng)海新陽(yáng)在投資(zi)者互🆚動(dòng)平台表(biǎo)示,目前(qian)KrF光刻膠(jiāo)有持續(xu)訂單,ArF光(guāng)刻膠尚(shàng)在認證(zheng)當中。 來(lai)源:勢銀(yín)膜鏈
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